Установка предназначена для нанесения и сушки фоторезиста и других полимерных материалов. Модули нанесения и сушки смонтированы на единой столешнице и имеют независимое управление.Модуль нанесения снабжен автоматической крышкой, которая закрывает чашу в процессе центрифугирования и создает атмосферу насыщенную парами растворителя. Данный функционал позволяет получить более однородный слой фоторезиста. Кроме того, модуль может быть дополнительно укомплектован системой удаления краевого валика и системой промывки обратной стороны пластины.
Для дозирования фоторезистов и других материалов модуль нанесения может оснащаться различными видами линий дозирования:
- Автоматический шприцевой дозатор с объемом шприца 30 мл
- Система дозирования из бутыли 1 л под давлением
- Система дозирования вязких жидкостей на основе моторизированного шприца или насоса.