УСТАНОВКА ОБРАБОТКИ В ОРГАНИЧЕСКИХ РАСТВОРИТЕЛЯХ

Установка предназначена для химической обработки полупроводниковых пластин и удаления фоторезиста с полупроводниковых пластин в органических растворителях. Имеет 5 рабочих ванн:

1. Ванна обработки в органических растворителях

Материал ванны нержавеющая сталь.
Габариты 218х278х200 h.
Система нагрева и поддержания температуры. Косвенный нагрев через глицериновую рубашку. Нагрев до 100 С°.
Донная решетка с отверстиями для установки кассет с пластинами.
Система контроля времени процесса на основе программируемого таймера с зуммером.
Крышка с водяным охлаждением.
Сливной патрубок с вентилем.
Азотные ножи. Представляют собой отверстия, расположенные в верхней части внутренней стенки ванны, ближней к оператору. При открывании крышки ванны через эти отверстия подается поток азота из магистрали, отсекающий пары реагента от оператора и направляющий его в сторону вытяжной вентиляции.

2. Ванна обработки в органических растворителях

3. СТОП-Ванна

Материал ванны полипропилен.
Габариты 200х300х200 h.
Съемная крышка из полипропилена.
Блок управления.

СТОП-ванна предназначена для отмывки пластин в деионизованной воде путем многократного сброса воды из ванны и быстрого наполнения ванны с пластинами водой через патрубок, расположенный в дне ванны и форсунки, расположенные вдоль передней и задней стенок ванны. Сброс воды осуществляется через клапан сброса с пневматическим управлением.

4. Ванна финишной промывки

Материал ванны полипропилен.
Габариты 200х300х160 h.
Переливной карман с кондуктометром для контроля качества отмывки полупроводниковых пластин.
Сливной патрубок с вентилем.
Патрубок подачи дистиллированной воды с вентилем, расположенный в днище ванны.
Съемная крышка из полипропилена.

Установка химической обработки пластин

Технические и функциональные характеристики:

Линии встроены в пылезащитные шкафы, модули монтируются на индивидуальных каркасах со встроенными блоками управления. Каркасы оборудованы роликовыми опорами с фиксаторами. Каркас представляет собой сварную конструкцию из стальных прямоугольных труб с защитным полимерным покрытием, на котором монтируется столешница из полипропилена, с ваннами и исполнительными устройствами.
Конструкция и исполнение линий технических процессов отвечает требованиям к оборудованию, установленному в помещении с классом чистоты 8 ИСО ГОСТ Р ИСО 14644-4-2002 «Требуемые классы чистоты. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды».

Ванны улавливания и ванны промывки оборудованы заливными патрубками, ванны промывки оборудованы сливом из основной ванны с вентилем, из кармана – без вентиля.
Устройства слива растворов и промывки вод расположены под столешницей модулей над поддоном и соединяться общей сливной трубой с установкой регенерации, либо с канализационным трубопроводом, кроме сливов органических растворителей. Органические растворители сливаются в емкости. Растворы из глухих ванн удаляются либо насосом в соответствующий трубопровод, либо путем извлечения ванны и сливом в емкость (легкосъемные ванны).

Залив и слив (с помощью вентиля) технологических растворов в (из) ванн производиться вручную.

Глухие ванны легкосъемные.
Деионизованная вода в промывные ванны подается из накопительной емкости насосом, расположенным непосредственно на участке водоподготовки деионизованной воды. Управление насосом осуществляется с мест потребления деионизованной воды.
Ванны промывки в проточной воде оснащены системой регулировки подачи деионизованной воды из накопительной емкости.

Ванны сушки оборудованы регистрами с форсунками, нагрев воздуха и азота производится калориферами. Датчик установлен в протоке подогреваемой среды. Калорифер изготовлен из алюминиевого сплава, нагрев осуществляется ИК лампами.

Система подогрева обеспечивает постоянный и равномерный подогрев рабочей среды.
Управление осуществляется с места потребления при помощи магнитного клапана.
Должно быть обеспечено соответствие подаваемого воздуха требованиям ГОСТ 18463.
Нагревательные элементы ванн не вносят загрязнений в технологические среды, ванны с нагревом технологической среды укомплектованы датчиками для непрерывного измерения температуры рабочей среды.
Контроль и регулировка температуры осуществляется микропроцессорными устройствами

Контроль и регулировка температуры осуществляется микропроцессорными устройствами

Точность поддержания температуры растворов в регулируемом диапазоне должна быть ±1^°С.
Контроль времени осуществляется микропроцессорными реле времени. Реле должно индицировать время окончания процесса и позволять задавать число циклов обработки от 1 до 5, время обработки и обеспечивать подачу сигнала об окончании процесса. Время нагрева реагентов от температуры 20⁰С до 100⁰С 60 минут.

Ванна никелирования, ванны золочения , ванна палладирования оборудованы крышками из фторопласта. Ванны промывки оборудованы крышками из полипропилена. Под ваннами расположены полипропиленовые поддоны для сбора растворов при аварийной утечке.
Линии оснащены открывающимися прозрачными экранами по фронту и прозрачными стационарными боковыми экранами. Верхнее фронтальное поликарбонатное стекло крепится к каркасу линии петлями, нижние дополнительные фронтальные поликарбонатные стекла – съемные. В задней полипропиленовой стенке линий расположены вентиляционные решетки и фланцы для подключения вытяжной вентиляции.

Линии оснащены системой автоматизированного контроля за параметрами технологического процесса (температура, время).
Производительность линий 300 подложек в смену.
Мощность линий 10 кВт.

Остались вопросы ?

Оставьте заявку наши специалисты свяжутся с Вами и ответят на все ваши вопросы

Нажимая на кнопку "Отправить", вы даете согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь c политикой конфиденциальности