УСТАНОВКА СУШКИ ПЛАСТИН

Установка предназначена для сушки полупроводниковых пластин методом центрифугирования после проведения операция химической обработки или травления. Обработка пластин происходит в групповых кассетах. В ходе выполнения операции пластины сначала орошаются деионизованной водой, а после обдуваются потоком нагретого до температуры 75°С азота. Загрузка и выгрузка кассет с пластинами осуществляется вручную. Установка предназначена для работы в чистых помещениях класса 100.

Управление установкой осуществляется с помощью встроенного микроконтроллера с сенсорным дисплеем. Программное обеспечение имеет простой и понятный интерфейс и позволяет задавать оператору различные рецепты обработки, которые включают в себя две стадии с индивидуальными значениями скорости центрифуги, времени обработки и температуры сушки.

В установке использована современная система привода центрифуги, позволяющая с высокой точностью поддерживать заданную частоту вращения и обеспечить постоянство результата отмывки-сушки.

Наши преимущества

Удобное управление на базе сенсорного дисплея
Кнопка быстрого запуска повторяющегося процесса
Автоматическая крышка
Датчики наличия сжатого воздуха и азота на входе в установку
Датчики наличия сжатого воздуха и азота на входе в установку
Блокировка запуска процесса с открытой крышкой
Проектирование центрифуги под кассеты Заказчика

Установка выполнена в напольном исполнении и состоит из следующих основных элементов:

Корпус, выполненный из полипропилена
Центрифуга, где происходит процесс обработки пластин;
Крышка, через которую осуществляется подача деионизованной воды и подогретого азота на пластины. Подъем и опускание крышки происходится автоматически;
Сенсорный дисплей, предназначенный для вывода информации о состоянии системы, задания режимов работы, а также для выполнения настроечных операций;
Лицевая панель, на которой расположены элементы индикации работы установки;
Передний отсек, где расположены пневматический и гидравлические блоки;
Задний отсек, где расположен электрический блок.

Технические характеристики

Фотогаллерея

Остались вопросы ?

Оставьте заявку наши специалисты свяжутся с Вами и ответят на все ваши вопросы

Нажимая на кнопку "Отправить", вы даете согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь c политикой конфиденциальности