603107, г. Нижний Новгород,
ул. Заовражная, д.6
ул. Заовражная, д.6
ООО "АтомСтрой"
УСТАНОВКА ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ
Установки предназначены для проведения различных химических процессов, проводимых при производстве изделий микроэлектроники:
- Химическое или гальваническое осаждение металлов:
- Меднение, палладирование и др.
- Предварительная подготовка пластин/подложек перед вакуумным напылением
- Травление резистивных слоев
- Обработка в органических растворителях
Комплектация линии
- Модуль предварительной подготовки
- Ванна постактивации
- Ванна проточной промывки
- Механизм подвижной штанги из титана для перемещения подвески
- Циркуляция и фильтрация растворов с помощью насоса фторопластового и катриджного фильтра тонкой очистки
- Пневмосистема подготовки сжатого воздуха
Модуль предварительной подготовки
Технические характеристики
| Наименование операции | Рабочий раствор | Рабочая температура, °C |
|---|---|---|
| Очистка | CeraBond M Wetting | 40 ± 3 |
| Промывка | комнатная | |
| Активация | CeraBond M Activator | 35 ± 5 |
| Промывка | комнатная | |
| Постактивация | CeraBond M Reducer | 70 ± 3 |
| Промывка | комнатная | |
| Промывка | 50 ± 5 |
Остались вопросы ?
Оставьте заявку наши специалисты свяжутся с Вами и ответят на все ваши вопросы
Нажимая на кнопку "Отправить", вы даете согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь c политикой конфиденциальности