603107, г. Нижний Новгород,
ул. Заовражная, д.6

УСТАНОВКА ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

Установки предназначены для проведения различных химических процессов, проводимых при производстве изделий микроэлектроники:
  • Химическое или гальваническое осаждение металлов:
  • Меднение, палладирование и др.
  • Предварительная подготовка пластин/подложек перед вакуумным напылением
  • Травление резистивных слоев
  • Обработка в органических растворителях



Комплектация линии

  • Модуль предварительной подготовки
  • Ванна постактивации
  • Ванна проточной промывки
  • Механизм подвижной штанги из титана для перемещения подвески
  • Циркуляция и фильтрация растворов с помощью насоса фторопластового и катриджного фильтра тонкой очистки
  • Пневмосистема подготовки сжатого воздуха
Модуль предварительной подготовки
Технические характеристики
Остались вопросы ?
Оставьте заявку наши специалисты свяжутся с Вами и ответят на все ваши вопросы
Нажимая на кнопку "Отправить", вы даете согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь c политикой конфиденциальности